預(yù)熱烘箱，愛(ài)義信 HMDS烘箱 HMDS預(yù)處理烘箱HMDS涂到樣品表面后，經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷裕耸杷阅軌蚝芎玫呐c光刻膠結(jié)合，增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用

HMDS真空烘箱HMDS涂到樣品表面后，經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷裕耸杷阅軌蚝芎玫呐c光刻膠結(jié)合，增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用

晶圓烘箱，HMDS預(yù)處理烘箱HMDS涂到樣品表面后，經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷裕耸杷阅軌蚝芎玫呐c光刻膠結(jié)合，增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用。