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如何處理HMDS使用中的常見問題

更新時間:2025-03-03      點擊次數:895

在HMDS(六甲基二硅氮烷)使用過程中,附著力不足和污染是兩大常見問題。以下是針對這些問題的系統性解決方案,涵蓋原因分析、解決措施及預防策略:


一、附著力不足的解決方案

1. 原因分析與對應措施

1,基底清潔 強化清洗流程:SC1(NH?OH/H?O?/H?O)清洗 → 超純水沖洗 → 氮氣干燥

- 增加氧等離子體清洗(100 W, 1–2分鐘)

2,HMDS失效或污染:更換新鮮HMDS(儲存條件:密封充氮,濕度<30%)
- 驗證HMDS有效期(通常開封后≤6個月)

3,工藝參數偏差:優化參數:溫度升至130–140°C,時間延長至2分鐘
-采用階梯升溫(如100°C預熱 → 130°C反應)

4,環境濕度干擾:在潔凈室(Class 1000以下)操作,增加局部氮氣簾隔離濕氣

2. 增強附著力的進階方法




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